激光干涉儀：五軸機床調試原理及應用簡介。

大家好我是CNC技術應用，我們現在在用這臺雷尼紹激光干涉儀檢測調試這臺普銳米勒U500、搖籃式五軸的機床整體精度。

現在同事正在調試這臺激光干涉儀，需要把這臺激光干涉儀內部射出的激光通過鏡片再折射到Z軸的鏡片上，激光再原路返回。現在正在檢測的是Z軸的精度，和大家說一下激光干涉儀的作用。

它可以檢測機床各個線性軸的各項精度，比如說定位精度，也就是從a點到b點的定位準確度。然后是重復定位精度，就是a點到b點的往復定位精度。還有就是線性軸的背隙，線性軸的絲杠在長期的運行過程中必然會產生一些磨損，磨損就會產生間隙，間隙導致精度上的損失。

所以我們通過激光干涉儀檢測絲杠全行程每段的誤差。因為日常加工中一般的絲杠中間磨損是比較嚴重的，所以在檢測時以30毫米為一段分段的檢測絲杠的間隙。測量完之后所有的數據都會上傳到電腦中，我們能查看到。

這個是檢測的過程，但是我們如何去修正這個誤差，總不能因為絲杠的正常磨損就定期更換絲杠。這個時候可以通過系統的補償把激光干涉儀檢測出來的間隙值直接輸入到系統中，讓它自動進行一個補償。

我們現在第一次檢測已經完成，我們來看一下誤差值，這個位置不確定度5.2個um，這個意思就是定位精度的意思，5.2個um，這是一個不錯的數據。要知道這是一臺兩年到三年的一個機床，每天都在使用。

目前市面上絕大部分的三軸機和五軸機在出廠的時候定位精度也才標到6個um左右，不信大家可以去看一下哈默米克朗德瑪吉(同等級機床，別拿科恩比較)，它們的機床出廠精度是多少？然后把測量得到的間隙值輸入到海德漢系統的，這個線性軸補償界面里面這個功能是所有系統都有。補償完成以后再做一次激光看看精度能優化到什么程度。

·在補償完之后現在開始做第二次的檢測，需要注意無論什么機床怎么補償都不可能把誤差消除到0，只能把誤差盡量的縮小，誤差是必然存在的。

·一會來看一下優化后的數據反饋?，F在Z軸不斷的在移動，就是檢測每30毫米它所存在的間隙值是多少，注意看數值每隔30mm測量一次。

現在第二次檢測完成了來看一下激光干涉儀反饋的數據。全行程往復測量了三次，最后得到的數據是位置不確定度，也就是定位精度2.1個um，最大分散度也就是重復定位精度1.8um，最大反向誤差0.4個um，這就是絲杠的反向間隙。

這個算是非常好的數據了，可以看一下溫度是在28度左右去測量的，這個就是激光干涉及檢測精度和修正精度的方式。如果你覺得你的機床精度差，加工尺寸不準確或者銑孔有橢圓，在排除其他機械故障之后可以打一次激光試試，效果是非常好的。