中國，上海—2024年3月20日，半導體行業盛會 SEMICON China 2024啟幕，全球高端半導體設備制造商德國PVA TePla集團再次亮相，并向行業展示其最新打造的國產碳化硅晶體生長設備“SiCN”。該設備專為中國市場定制，并結合半導體行業生產特點，將德國的設計經驗和理念與中國本土化生產配套能力優勢聯合，采用PVT法(物理氣相傳輸工藝)生產碳化硅晶體，計劃于2024年第二季度投入市場。

　　PVA TePla亮相SEMICONChina2024

　　“作為PVA TePla在華打造的首款國產碳化硅晶體生長設備，‘SiCN’旨在幫助我們更好地滿足本土化需求，為中國市場提供成熟穩定的工藝設備，進一步幫助合作伙伴提升市場競爭力。”德國PVA TePla集團半導體業務中國區負責人謝秀紅表示，“中國已成為全球第三代半導體產業鏈中碳化硅襯底制造的重要基地。PVA TePla在晶體生長設備設計和制造領域積累了豐富的經驗，未來將持續致力于加強本土化供應鏈建設，完善本土團隊的技術服務能力，助力中國半導體產業高質量發展。”

　　打造首款國產碳化硅晶體生長設備

　　在中國，電動汽車和諸多新興行業的蓬勃發展為碳化硅襯底材料帶來廣闊機遇。碳化硅半導體材料的生產技術日漸成熟穩定，并已形成相當的工業規模。作為最早將碳化硅晶體設備引入中國市場的企業之一，德國PVA TePla集團始終致力于融合中德前沿技術優勢。“SiCN”融匯了中國的本土化采購、生產配套能力和德國的技術積累和傳承，通過設備更好的可靠性和一致性運行，有效提高良品率，在降低制造成本的同時達到更優效益，幫助下游客戶有效提高最終產品的附加值和核心競爭力。

　　PVA TePla碳化硅晶體生長設備

　　·定制化：特定的晶體生長工藝通常是企業的高度機密，定制化晶體生長平臺對于驗證和優化其工藝至關重要。PVA TePla可為客戶提供專業定制化解決方案，以滿足行業獨特的工藝和知識產權需求，從而實現無縫擴展以進行大規模生產。

　　·靈活性：“SiCN”的設計可采用和更換成熟供應商的標準組件以及定制組件，保證設備可以使用最新的研發成果，實現持續的技術進步。

　　·可靠生產：“SiCN”系統設計緊湊，自動化程度高，可最大化節約整體運營空間，同時方便維護，可實現可靠的大規模生產。客戶還可整合如加料小車、多種真空泵選項和測量設備等其他部件，進一步提升系統功能。

　　·高生產效能：晶體生長過程需要具備在超過2,000°C的高溫條件下長時間運行，因此優異的能源效率可以實現更佳的成本效益。“SiCN”采用經驗證的低能耗感應線圈設計，實現高效率的感應加熱，有效降低能耗，優化生產成本。

　　德國PVA TePla集團已在全球范圍內銷售SiC晶體生長系統，并與全球領先的主流碳化硅襯底材料供應商共同研發并為其提供長晶設備，其設備穩定性和產品質量一致性，在大尺寸碳化硅材料的研發過程中起到了關鍵作用。

　　建立中國供應鏈與本土化配套服務

　　目前，德國PVA TePla集團已在中國建立生產基地、演示中心及供應鏈中心，旨在將高端設備國產化，以更好地助力中國半導體產業提升和發展，特別是碳化硅晶體和大尺寸單晶硅片的生產。同時，為了貼合本土市場需求，德國PVA TePla集團也在進一步完善本地團隊技術服務，加強與下游合作伙伴的研發合作，并且提供更加專業化、定制化的本地支持，幫助合作伙伴更加便捷、快速的實現大規模生產能力。

　　隨著中國成為全球碳化硅的重要生產基地，德國PVA TePla集團將持續深耕中國市場，加強本土化生產供應與配套服務能力，深化本地創新研發合作，助力中國半導體產業高質量發展。